大量程大流量氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器MFC

一、ACU20FD-LH 高精度 大量程大流量氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器MFC MFM 產(chǎn)品概述：

1、精度更高，響應(yīng)更快，帶網(wǎng)口；

2、管狀分流，不易堵塞；

3、適用于各種低壓和高壓管道；

4、預(yù)熱時(shí)間短，零漂小，可靠性高；

5、可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量；

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細(xì)化工 / 電力冶金

環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)

三、ACU20FD-LH 高精度 大量程大流量氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器MFC MFM 產(chǎn)品參數(shù)：

量程范圍：2SCCM～6000SLM                                              
準(zhǔn) 確  度：±0.5%F.S
線       性：±0.5%F.S
重復(fù)精度：±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間：流量計(jì)：＜0.1s；流量控制器：<0.2s
數(shù) 字  量：RS232/485，MODBUS，Profibus，DeviceNet等協(xié)議。
模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V
供       電：±15VDC，24VDC
工作溫度：0～50℃
工作壓降：<0.01Mpa（流量計(jì)）
工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）
耐       壓：3MPa/10MPa
漏       率：1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì)：不銹鋼
密封材質(zhì)：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，F(xiàn)FKM/FFPM等                                                              
接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同，請(qǐng)溝通定制。